本發(fā)明公開了一種內(nèi)外腔表面粗糙度高精度測(cè)量光路結(jié)構(gòu)及自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)，該測(cè)量結(jié)構(gòu)及自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)的關(guān)鍵部件為無(wú)損光路測(cè)量結(jié)構(gòu)，主要包括集成光路和潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路，集成光路包括白光光源、第一分束鏡和相機(jī)，第一分束鏡將一部分光出射至潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路內(nèi)，潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路內(nèi)設(shè)有若干平面反射鏡將分束鏡出射的光反射至潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路的末端，潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路的末端連接有Mirau干涉物鏡，用于將光束出射到待測(cè)的部件內(nèi)外腔上；相機(jī)設(shè)置在分束鏡的反射光路上，部件內(nèi)外腔表面反射的測(cè)量光與Mirau干涉物鏡中的參考光發(fā)生干涉，干涉圖像由相機(jī)拍攝獲取。本發(fā)明的無(wú)損光路測(cè)量結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)不同長(zhǎng)徑比的部件內(nèi)外腔的高精度測(cè)量。