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振動(dòng)環(huán)境下反射鏡組件微小相對(duì)位移測(cè)量裝置及測(cè)量方法

875   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:26
本發(fā)明屬于光學(xué)精密檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種振動(dòng)環(huán)境下反射鏡組件微小相對(duì)位移測(cè)量裝置及測(cè)量方法,測(cè)量裝置包括振動(dòng)連接板、振動(dòng)連接桿、探測(cè)器支撐座、探測(cè)器壓板、光譜共焦鏡頭、耦合器、LED光源信號(hào)控制器、光纖、數(shù)據(jù)采集模塊、數(shù)據(jù)后處理模塊,以振動(dòng)連接板為基體,將振動(dòng)臺(tái)、待測(cè)反射鏡組件、振動(dòng)連接桿連接為一個(gè)剛體,通過(guò)調(diào)節(jié)光譜共焦鏡頭的共焦面,實(shí)現(xiàn)鏡框和反射鏡之間相對(duì)位移的高精度測(cè)量。本發(fā)明解決了反射鏡組件相對(duì)位移測(cè)量過(guò)程中的測(cè)量精度低、架設(shè)復(fù)雜、測(cè)量過(guò)程對(duì)反射鏡造成損傷等問(wèn)題,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、剛性好、架設(shè)簡(jiǎn)單,測(cè)量精度高,對(duì)反射鏡測(cè)量無(wú)損傷等特點(diǎn)。
聲明:
“振動(dòng)環(huán)境下反射鏡組件微小相對(duì)位移測(cè)量裝置及測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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