本發(fā)明涉及光伏領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種接觸電阻的測(cè)量方法，包括如下步驟：將光生伏特體外部短路；用開(kāi)爾文掃描探針以非接觸式方式與光源同步逐個(gè)掃描所述光生伏特體表面的各個(gè)掃描點(diǎn)，并得到每個(gè)所述掃描點(diǎn)的光電壓Vp，同時(shí)記錄每個(gè)所述掃描點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的所述光生伏特體的外部短路電流I；按照公式Rcl＝C·Vp/I，計(jì)算得到每個(gè)掃描點(diǎn)的接觸電阻；其中，C為經(jīng)驗(yàn)修正因子。上述接觸電阻的測(cè)量方法，可實(shí)現(xiàn)太陽(yáng)能電池的接觸電阻的無(wú)損檢測(cè)；同時(shí)無(wú)需對(duì)太陽(yáng)能電池進(jìn)行特殊的電極設(shè)計(jì)，并且能夠?qū)φ麄€(gè)太陽(yáng)能電池進(jìn)行面掃描。另外該方法還適于測(cè)量異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池。本發(fā)明還公開(kāi)了一種接觸電阻的測(cè)量裝置。