本發(fā)明公開了一種金屬導(dǎo)體表面金屬涂層的厚度及電導(dǎo)率檢測方法及裝置,其中,方法包括以下步驟:根據(jù)不同涂層厚度、電導(dǎo)率與基底電導(dǎo)率的特性生成歸一化視電導(dǎo)率的標準曲線;根據(jù)被測特定帶涂層導(dǎo)體的等值電導(dǎo)率和不同激勵源頻率下的電磁波透入深度之間的關(guān)系獲取等值導(dǎo)電率的實驗曲線;確定待測平板的參數(shù),并根據(jù)標準曲線和實驗曲線計算金屬涂層的電導(dǎo)率和厚度基底金屬導(dǎo)體的電導(dǎo)率。該方法無需先驗實驗數(shù)據(jù),即可高精度、快速無損的同時檢測微米數(shù)量級金屬涂層厚度、電導(dǎo)率以及基底電導(dǎo)率,簡單易實現(xiàn)。
聲明:
“金屬導(dǎo)體表面金屬涂層的厚度及電導(dǎo)率檢測方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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