本發(fā)明涉及核聚變與光學(xué)診斷領(lǐng)域，公開(kāi)了一種在線檢測(cè)托卡馬克鎢第一壁灰塵成分及厚度的太赫茲方法。首先從窗口外向檢測(cè)區(qū)域垂直射入太赫茲波，探頭測(cè)量并記錄由鎢第一壁反射回的太赫茲時(shí)域波譜；將其在有效頻域內(nèi)做傅里葉變換得到頻域譜；數(shù)據(jù)自動(dòng)選取特征譜線，與數(shù)據(jù)庫(kù)中不同灰塵的太赫茲特征譜線位置相比對(duì)，確定灰塵成分；確定灰塵成分后，將該灰塵成分與數(shù)據(jù)庫(kù)標(biāo)定厚度的太赫茲特征譜線比較得到相對(duì)強(qiáng)度比，再與數(shù)據(jù)庫(kù)中的沉積層厚度-相對(duì)強(qiáng)度比的函數(shù)關(guān)系進(jìn)行對(duì)照，確定沉積層厚度。本發(fā)明利用反射太赫茲時(shí)域譜技術(shù)結(jié)合計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)庫(kù)，能夠達(dá)到同步在線且無(wú)接觸無(wú)損傷檢測(cè)磁約束聚變托卡馬克裝置鎢第一壁灰塵沉積層成分以及厚度。