本發(fā)明涉及一種超聲掃描顯微鏡檢測(cè)金屬材料內(nèi)部夾雜物的方法，該方法具體步驟如下：首先，根據(jù)被檢材料的厚度和檢測(cè)精度要求進(jìn)行超聲換能器的參數(shù)選型；然后，對(duì)樣品進(jìn)行逐層粗掃成像獲得夾雜物在材料內(nèi)部的整體分布信息和三維形貌；調(diào)整換能器的軸向位置，使其準(zhǔn)確聚焦于目標(biāo)掃查層，進(jìn)行精細(xì)C掃成像獲得目標(biāo)掃查層處夾雜物的平面分布信息；最后，由A掃時(shí)域波形獲得夾雜物的深度信息，從而確定目標(biāo)掃查層處夾雜物在材料內(nèi)部的空間位置坐標(biāo)。采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)材料內(nèi)部夾雜物的無損檢測(cè)，利用計(jì)算得到的水聲程可較準(zhǔn)確的調(diào)整換能器豎直高度，實(shí)現(xiàn)較高效率及精度的聚焦掃查，進(jìn)而獲得夾雜物在材料內(nèi)部的準(zhǔn)確空間位置。