本發(fā)明屬于一種檢測(cè)分析方法，具體涉及一種針對(duì)高功率半導(dǎo)體激光器及陣列激光器的質(zhì)量和可靠性進(jìn)行檢測(cè)和篩選的方法。首先測(cè)出激光器V－I和P－I曲線(xiàn)，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理得到電導(dǎo)數(shù)曲線(xiàn)IdV/dI～I(xiàn)和光導(dǎo)數(shù)曲線(xiàn)dP/dI～I(xiàn)、d2P/dI2～I(xiàn)，然后從光導(dǎo)數(shù)曲線(xiàn)d2P/dI2～I(xiàn)或電導(dǎo)數(shù)曲線(xiàn)IdV/dI～I(xiàn)得到被測(cè)器件的閾值電流Ith，從而得到b、m、Rs1、Rs2、h各參數(shù)，再由二階光導(dǎo)數(shù)曲線(xiàn)閾值處的峰高H，峰寬W，峰高峰寬之比Q給出激光器激射時(shí)的光特征；最后將所得的各參數(shù)與同種結(jié)構(gòu)的器件參數(shù)的正常值相比較，從而判定所檢測(cè)的高功率半導(dǎo)體激光器或陣列激光器的質(zhì)量和可靠性。本發(fā)明方法對(duì)器件的篩選具有無(wú)損快速簡(jiǎn)便的特點(diǎn)，適合于廣泛使用。