本發(fā)明公開了一種大尺寸二維平面光柵柵距檢測方法,對周期性分布的二維光柵圖樣,通過在兩個方向選取合適的模板圖像,利用數(shù)字圖像相關系數(shù)算法,測量二維平面光柵在兩個方向的柵距及柵距均勻性。本發(fā)明實現(xiàn)大尺寸二維平面光柵柵距的快速無損檢測,具有檢測精度高、檢測范圍大、抗噪性能強的優(yōu)點。
聲明:
“大尺寸二維平面光柵柵距檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)