本發(fā)明涉及缺陷檢測裝置,涉及缺陷檢測技術(shù),包括:激發(fā)裝置,用于向被檢測結(jié)構(gòu)施加不同激發(fā)源,而使被檢測結(jié)構(gòu)在不同激發(fā)源下產(chǎn)生不同的發(fā)光信號;接受裝置,用于獲得被檢測結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的發(fā)光信號;以及計算單元,接收接受裝置輸出的發(fā)光信號,并根據(jù)被檢測結(jié)構(gòu)在不同激發(fā)源下產(chǎn)生的不同的發(fā)光信號計算獲得被檢測結(jié)構(gòu)的某一層的發(fā)光信號,而為被檢測結(jié)構(gòu)的優(yōu)化指明方向,且快速、無損。
聲明:
“缺陷檢測裝置、方法及發(fā)光信號的獲得方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)