本發(fā)明公開了一種基于透過率的在線檢測CdS薄膜厚度的系統(tǒng),包括:單色光源發(fā)生器、光強檢測系統(tǒng)、若干傳感器、控制器及能將透過率數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為膜厚數(shù)據(jù)的計算機;傳感器用于檢測CdS薄膜的位置,并將檢測發(fā)送信號發(fā)送給控制器;控制器接收到傳感器信號后,控制單色光源發(fā)生器及光強檢測系統(tǒng)工作;單色光源發(fā)生器及光強檢測系統(tǒng)用于在線檢測CdS薄膜的透過率;光強檢測系統(tǒng)將檢測數(shù)據(jù)傳輸至計算機,獲得膜厚數(shù)據(jù)。本發(fā)明采用CdS薄膜吸收敏感波段,檢測分辨率能夠達(dá)到納米級別。此外,該系統(tǒng)還具有無損、檢測速度快等特征,能夠嵌入生產(chǎn)線。
聲明:
“基于透過率的在線檢測CdS薄膜厚度的系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)