一種基于雙目機(jī)器視覺(jué)的球柵陣列半導(dǎo)體器件品質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng),由光學(xué)成像和圖像采集兩部分組成,被測(cè)球柵陣列半導(dǎo)體器件放置在載物臺(tái)上,兩個(gè)CCD攝像機(jī)分別設(shè)置在光學(xué)顯微鏡的正上方和被測(cè)器件側(cè)面,每一個(gè)CCD攝像機(jī)配置一套光源,兩個(gè)CCD攝像機(jī)多角度采集的半導(dǎo)體器件圖像信息,通過(guò)高速圖像采集卡傳送到計(jì)算機(jī),經(jīng)處理后得到器件檢測(cè)需要的各項(xiàng)數(shù)據(jù),進(jìn)行器件的品質(zhì)的評(píng)定。本發(fā)明采用軟件信號(hào)觸發(fā)控制圖像采集、雙CCD攝像機(jī)和彩色圖像處理技術(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)球柵陣列半導(dǎo)體器件品質(zhì)的高速、高分辨率無(wú)損傷檢測(cè),滿足在線實(shí)時(shí)檢測(cè)的需要。
聲明:
“基于雙目機(jī)器視覺(jué)的球柵陣列半導(dǎo)體器件品質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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