本發(fā)明公開了一種基于表面波定向性檢測亞波長介質(zhì)納米線形貌的檢測裝置,包括:光源、偏振調(diào)制器件、亞波長介質(zhì)納米線、介質(zhì)基底、油鏡物鏡、偏振分離器件以及后焦面探測器;經(jīng)過偏振調(diào)制器件調(diào)制的入射光與亞波長介質(zhì)納米線相互作用后能在介質(zhì)基底激發(fā)定向傳輸?shù)谋砻娌?,如玻璃表面的衰逝場和多層介質(zhì)膜基底表面的布洛赫表面波。表面波具有以橫向波矢大于k0在表面?zhèn)鞑サ耐瑫r(shí)向基底泄露的特點(diǎn),在基片下用高數(shù)值孔徑油鏡物鏡能收集到信號并在后焦面成像。偏振分離器件能更有效地將需要的偏振信號分離出來,減小背景噪聲的同時(shí)提取散射信號。本發(fā)明具有與光源功率穩(wěn)定性無關(guān)、分辨率高、能夠多維信息提取和無損測量的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“基于表面波定向性檢測亞波長介質(zhì)納米線形貌的檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)