本發(fā)明公開了一種曲面膠厚檢測裝置及曲面膠厚逐點檢測方法。該曲面膠厚檢測裝置包括激光發(fā)射器、導(dǎo)軌、分光棱鏡、第一光功率計、第二光功率計和透鏡,分光棱鏡設(shè)置于導(dǎo)軌上,激光發(fā)射器發(fā)出的光線照射在分光棱鏡上,經(jīng)過分光棱鏡后的透射光線照射在第一光功率計上,經(jīng)過分光棱鏡后的反射光線照射在透鏡上,經(jīng)過透鏡的光線沿被檢樣品的膠層曲面球心方向入射,光線在被檢膠層曲面反射后沿入射光路返回,依次經(jīng)過透鏡和分光棱鏡后照射在第二光功率計上。本發(fā)明可實現(xiàn)無損地對曲面基底上的光刻膠厚度及分布進(jìn)行逐點測量。
聲明:
“曲面膠厚檢測裝置及曲面膠厚逐點檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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