透明聚合物材料微器件鍵合封裝質(zhì)量檢測裝置及檢測方法,是基于生物可降解材料PLGA等這類透明聚合物良好的可見光透射性能而提出的——可見光透射檢測法,檢測原理是基于光垂直入射材料鍵合部位時光在不同鍵合質(zhì)量情況下反射情況的不同從而引起透射光強的不同,從而可由此原理通過透射圖像的處理判斷透明聚合物材料微器件的鍵合質(zhì)量,設(shè)計了有效的可見光透射圖像采集設(shè)備并進行有效的圖像處理。此種方法能有效檢測這種特殊透明聚合物材料的微器件結(jié)構(gòu)鍵合封裝質(zhì)量,是一種高效的無損檢測方法,設(shè)備簡單,依據(jù)此方案能設(shè)計有效的檢測設(shè)備,并利于在線檢測的實現(xiàn)。
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