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薄膜縱向不均勻性檢測方法、裝置及終端和檢測系統(tǒng)

1131 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 08:58:04

本發(fā)明公開一種薄膜縱向不均勻性檢測方法、裝置、檢測系統(tǒng)以及終端，涉及薄膜檢測技術領域，以提高無損檢測薄膜縱向不均勻性方法的適用范圍。該薄膜縱向不均勻性檢測方法包括：接收被測樣品的橢偏光譜曲線信息，被測樣品至少包括被測薄膜；根據被測樣品的特性建立各向同性的物理模型，物理模型至少包括薄膜模型；將薄膜模型所含有的至少一個變量參數(shù)轉換為梯度化變量參數(shù)；以被測樣品的橢偏光譜曲線信息為曲線擬合目標，利用薄膜模型對梯度化變量參數(shù)進行曲線擬合，獲得被測樣品的光電參數(shù)在被測樣品縱向方向上的變化曲線信息；根據變化曲線信息確定被測樣品的縱向不均勻性。本發(fā)明用于薄膜縱向不均勻性檢測。

聲明：

“薄膜縱向不均勻性檢測方法、裝置及終端和檢測系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)