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基于圖像的失效ESD器件無損表征方法

1009   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:03
本發(fā)明涉及一種基于圖像的失效ESD器件無損表征方法,其特點是采用激光掃描或光發(fā)射顯微技術(shù)對失效初期器件進行漏電路徑定位,以及X射線顯微鏡對失效后期ESD器件進行斷層掃描和3D重構(gòu),基于圖像的觀測,對失效ESD器件進行全面的無損表征,得到不同失效階段的原因,以指導(dǎo)器件的優(yōu)化設(shè)計。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有利用無損的方法得到不同失效階段的原因,找出器件的可靠性問題和設(shè)計存在的薄弱區(qū)域,從而達到ESD器件優(yōu)化的結(jié)果,指導(dǎo)器件的優(yōu)化設(shè)計,提高ESD器件的可靠性,有效減少系統(tǒng)成本,降低設(shè)計和布線的復(fù)雜度,尤其適用系統(tǒng)的研究ESD器件內(nèi)在運行機制和需要優(yōu)化的部分,在低壓、高壓集成電路中具有重要的應(yīng)用前景。
聲明:
“基于圖像的失效ESD器件無損表征方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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