本發(fā)明屬于激光清洗領(lǐng)域,具體地說(shuō)是一種均勻水膜晶圓顆粒物無(wú)損激光清洗方法。包括以下步驟:1)檢測(cè)待清洗晶圓的顆粒污染物尺寸是否符合清洗范圍;若不符合將待清洗晶圓夾持在工作區(qū)域中,執(zhí)行下一步驟,反之,更換晶圓并重復(fù)步驟1);2)通過(guò)去離子水裝置的水噴頭在待清洗晶圓表面噴水形成一層去離子水膜;3)激光清洗:設(shè)置激光工藝參數(shù),通過(guò)控制夾持機(jī)械手,使晶圓法線與激光器發(fā)射的激光束形成夾角,設(shè)定激光器對(duì)待清洗晶圓一表面上進(jìn)行多次清洗;4)對(duì)待清洗晶圓進(jìn)行翻面,通過(guò)操作步驟2)~3)對(duì)晶圓的另一表面完成清洗;5)檢測(cè)激光清洗后的晶圓表面顆粒污染物,若殘留顆粒污染物超過(guò)設(shè)定值,返回步驟1),反之,清洗合格。
聲明:
“均勻水膜晶圓顆粒物無(wú)損激光清洗方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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