本發(fā)明公開(kāi)了一種基于虛擬切片無(wú)損測(cè)量裝置的精密控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)、可編程邏輯控制器、伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、伺服電機(jī)、精密微動(dòng)平臺(tái)、光柵測(cè)距裝置、精密測(cè)力裝置等部分之間數(shù)據(jù)的相互傳輸，從而實(shí)現(xiàn)該系統(tǒng)多重閉環(huán)的測(cè)控功能，即實(shí)現(xiàn)由計(jì)算機(jī)的測(cè)控監(jiān)控軟件直接控制杠桿平衡裝置的正常運(yùn)行，以及通過(guò)計(jì)算機(jī)的測(cè)控監(jiān)控軟件直接監(jiān)控各子系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)反饋。該系統(tǒng)可以有效的提高基于虛擬切片無(wú)損檢測(cè)裝置運(yùn)行的可靠性以及檢測(cè)效率，并為基于虛擬切片無(wú)損檢測(cè)裝置控制系統(tǒng)的繼續(xù)優(yōu)化提供理論基礎(chǔ)。