本發(fā)明提供了用于無(wú)損測(cè)量一個(gè)半導(dǎo)體器件中少數(shù)載流子擴(kuò)散長(zhǎng)度(Lp),進(jìn)而測(cè)量少數(shù)載流子壽命(Op)的一種方法。該方法包括以下步驟:將一個(gè)待測(cè)試半導(dǎo)體器件反向偏置,用一束聚焦輻射能量沿該半導(dǎo)體器件的一段長(zhǎng)度進(jìn)行掃描,當(dāng)輻射束沿該半導(dǎo)體器件的掃描長(zhǎng)度段逐點(diǎn)掃描時(shí)檢測(cè)該輻射束在半導(dǎo)體器件中感生的電流,以生成一個(gè)信號(hào)波形(Isignal),并根據(jù)測(cè)得的Isignal波形確定該半導(dǎo)體器件中少數(shù)載流子的擴(kuò)散長(zhǎng)度(Lp)和/或少數(shù)載流子的壽命(Op)。
聲明:
“半導(dǎo)體器件少子擴(kuò)散長(zhǎng)度和少子壽命的無(wú)損測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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