本發(fā)明涉及一種測試多層薄膜結(jié)構(gòu)熱物理性質(zhì)的無損電測方法,包括以下步驟:通過實驗測試得到微加熱器的實際溫度變化;根據(jù)溫度和熱流連續(xù)性假設(shè)求解熱擴散方程,結(jié)合熱散射矩陣,得到微加熱器理論溫度變化的解析表達式,解析表達式與通入微加熱器的交流電流的幅值與頻率、多層薄膜結(jié)構(gòu)的各層薄膜厚度、導(dǎo)熱系數(shù)及體積比熱關(guān)聯(lián);將實驗測試中微加熱器的相關(guān)參數(shù)作為已知量以及每一交流電流的頻率點下假設(shè)的熱物理參數(shù),代入解析表達式,計算得到理論溫度變化;將實際溫度變化和理論溫度變化進行擬合,即可提取出各層的熱物理性質(zhì)。本發(fā)明避免對樣品進行多次磨片、剖光,實現(xiàn)精確快速實時檢測多層結(jié)構(gòu)材料各層熱物理性質(zhì)。
聲明:
“測試多層薄膜結(jié)構(gòu)熱物理性質(zhì)的無損電測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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