本發(fā)明公開了一種對微納光學(xué)元件的結(jié)構(gòu)深度進行無損檢測的裝置及方法,包括測試箱體和用于封蓋該測試箱體的箱蓋,在所述測試箱體內(nèi)設(shè)置光源、單色器、分光器、被測微納光學(xué)元件、積分球、反射鏡和光電倍增管,在測試箱體外設(shè)置的計算機與光電倍增管的輸出端連接。本發(fā)明的方法根據(jù)Fraunhofer衍射強度分布公式和衍射光柵公式,得到0級衍射峰值強度I0peak與微納光學(xué)元件透過率T的關(guān)系透過率T和結(jié)構(gòu)深度h的關(guān)系T=80?0.07h,將測得的透過率值帶入式中,計算得到微納光學(xué)元件的結(jié)構(gòu)深度h。該通過透過率計算出結(jié)構(gòu)特征尺寸,具有測試效率高及不損傷樣品的特點。
聲明:
“對微納光學(xué)元件的結(jié)構(gòu)深度進行無損檢測的裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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