多晶體材料(如鋁合金、鋼鐵等)加工后，在多晶體材料內(nèi)部產(chǎn)生殘余應(yīng)力，本發(fā)明針對(duì)織構(gòu)不強(qiáng)的多晶體板狀材料或板狀工件，利用短波長(zhǎng)特征X射線衍射儀器，提供了一種短波長(zhǎng)X射線衍射的板狀內(nèi)部應(yīng)力定點(diǎn)無損檢測(cè)方法，直接測(cè)量多個(gè)Ψ角(45°≤Ψ≤90°)方向的某一(hkl)晶面衍射譜，并基于布拉格原理和廣義胡克定律的應(yīng)力——應(yīng)變關(guān)系，計(jì)算得到所測(cè)部位的所測(cè)方向的應(yīng)力。采用上述此方法，通過X、Y、Z的平移，就可以測(cè)得另一其它部位的應(yīng)力；通過板狀材料或板狀工件繞其板面法線的轉(zhuǎn)動(dòng)，就可以測(cè)得另一其它方向的應(yīng)力。本發(fā)明針對(duì)織構(gòu)不強(qiáng)的多晶體板狀材料或板狀工件，可以測(cè)得其內(nèi)部任一部位、XY平面任一方向的應(yīng)力。