本實(shí)用新型涉及一種無損檢測平面物品表面的裝置,其特征在于:激光器的光軸與被測物品的中心軸線呈0.01°~20°角度放置,在激光器的光軸上與被測物品之間設(shè)置顯微物鏡;在被測樣品反射光束的中心軸線上依次設(shè)置剪切角固定的光楔、凸透鏡和線陣CCD;線陣CCD固定于一維方向移動(dòng)微位移平臺(tái)上,線陣CCD采集的圖像信號(hào)輸出至計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)的控制信號(hào)輸出至一維方向移動(dòng)微位移平臺(tái)控制一維方向移動(dòng)微位移平臺(tái)的移動(dòng)。利用線陣CCD推掃方法,可以根據(jù)待測樣品表面設(shè)計(jì)相應(yīng)的微位移平臺(tái)的移動(dòng)軌道,沿所述移動(dòng)軌道推掃得到的散斑圖消除了散斑像的離焦現(xiàn)象,從而有效提高了缺陷檢測的靈敏度。
聲明:
“無損檢測平面物品表面的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)