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射頻損耗的無損檢測系統(tǒng)

764   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:47
本申請公開了一種射頻損耗的無損檢測系統(tǒng),微波發(fā)射裝置包括依次設(shè)置的微波發(fā)射器、微波調(diào)制器以及微波聚焦器,微波發(fā)射器所射出的微波經(jīng)過微波調(diào)制器和微波聚焦器照射至樣品臺上的待檢測樣品;探測波發(fā)射裝置包括依次設(shè)置的探測波發(fā)射器、探測波調(diào)制器以及探測波聚焦器,探測波發(fā)射器所射出的探測波經(jīng)過探測波調(diào)制器和探測波聚焦器照射至待檢測樣品;探測波照射至所述待檢測樣品上所射出的光信號經(jīng)由光接收裝置轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號,測量裝置根據(jù)電學(xué)信號對待檢測樣品進(jìn)行檢測。本申請中的檢測方式具有非接觸和無損的特點(diǎn),避免對壓電薄膜材料進(jìn)行加工成器件后再進(jìn)行射頻損耗檢測的傳統(tǒng)破壞性檢驗(yàn),降低時(shí)間和經(jīng)濟(jì)成本,提高研發(fā)生產(chǎn)效率。
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