本發(fā)明公開了一種超純無硼氨水的制備方法,包括依次且連續(xù)進行的如下步驟:(1)汽化;(2)凈化過濾;(3)樹脂吸附;(4)多級吸收;(5)除硼工藝;(6)超濾。上述方法所得的超純無硼氨水中,大于等于0.5μm顆粒濃度小于3p/ml,大于等于0.2μm顆粒濃度小于30?p/ml,硼元素含量100PPT,單項金屬離子含量小于30ppt,實測小于20ppt。本發(fā)明一種超純無硼氨水的制備方法,工藝流程簡單,容易實現(xiàn),其通過硼特效樹脂進行多級除硼操作,有效去除氨水中的硼元素,且該制備方法所用設備少,易于操作,生產(chǎn)成本低,為無硼化學品的開發(fā)奠定了基礎。
聲明:
“超純無硼氨水的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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