一種具有電磁屏蔽功能的高透光柔性錳銅計,包括基底,基底上設(shè)有敏感元件和電極,敏感元件的輸入端和輸出端分別連接兩個電極,敏感元件和電極的表面上設(shè)有封裝層;敏感元件采用錳銅箔制成,厚度為5μm;電極與敏感元件為一體式結(jié)構(gòu)且由同一錳銅箔通過激光雕刻或化學腐蝕工藝制成;基底和封裝層均為三明治結(jié)構(gòu):中間層為25μm厚的PI/納米銀線復合薄膜,上層和下層是1μm厚的陶瓷薄膜,通過MEMS濺射工藝形成于中間層表面;基底、封裝層、電極以及敏感元件通過熱壓封裝工藝形成錳銅計;本發(fā)明能夠屏蔽電磁輻射干擾且可避免高壓旁路效應(yīng),具有耐高溫、高透光性、響應(yīng)快、柔性化、薄膜化以及適用于微尺度裝藥爆壓測量等特點。
聲明:
“具有電磁屏蔽功能的高透光柔性錳銅計” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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