本發(fā)明涉及原子層沉積領域,具體是一種原子層沉積設備,包括等離子體發(fā)生器,所述等離子體發(fā)生器上端設有管道,等離子體發(fā)生器下端通過連接管道連接有反應腔,反應腔頂部設有支撐架,反應腔左側安裝有進源管道。本發(fā)明原子層沉積設備結構簡單,易操作;同時利用本發(fā)明原子層沉積設備制備直接甲醇燃料電池陽極催化劑的方法,高效、易實現(xiàn),制備出產(chǎn)品具有高比表面積、優(yōu)異催化性能的優(yōu)點。進而解決了直接用氧化
石墨烯做載體,電池的
電化學性能測試并不能達到理想效果的問題。
聲明:
“原子層沉積設備及其制備電池催化劑的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)