本發(fā)明公開(kāi)了一種金屬層膜厚堆疊模型校準(zhǔn)的方法及系統(tǒng),該方法基于準(zhǔn)確的金屬層化學(xué)機(jī)械研磨模型,在模型預(yù)測(cè)能力范圍內(nèi),通過(guò)改變模型輸入?yún)?shù)預(yù)測(cè)不同的DOE晶圓金屬層厚度,輸出所需的監(jiān)控區(qū)域的厚度,并將其用于光譜校準(zhǔn)過(guò)程,通過(guò)本發(fā)明,不僅縮短了校準(zhǔn)的時(shí)間,而且提高了膜厚堆疊模型的準(zhǔn)確性。
聲明:
“金屬層膜厚堆疊模型校準(zhǔn)的方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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