本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜熱電堆型熱流傳感器,銅薄膜層與康銅薄膜層搭接形成熱電堆的節(jié)點(diǎn),節(jié)點(diǎn)的一側(cè)設(shè)置有二氧化硅熱阻層,銅薄膜層與康銅薄膜層通過(guò)側(cè)壁延伸至棒底端并引出,銅薄膜層康銅薄膜層通過(guò)磁控濺射制備并掩模形成熱電堆陣列,二氧化硅熱阻層通過(guò)溶膠凝膠法在圓柱形棒前端面進(jìn)行制備,能夠?qū)崿F(xiàn)變溫流場(chǎng)環(huán)境下的瞬時(shí)熱流測(cè)量,制備封裝方法簡(jiǎn)單,便于安裝使用,且成本較低,可應(yīng)用于液壓系統(tǒng)、化學(xué)反應(yīng)釜等多場(chǎng)景測(cè)熱流。
聲明:
“薄膜熱電堆型熱流傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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