2O3和SnO2混相膜的制備方法,化學(xué)分析"> 2O3和SnO2混相膜的制備方法,一種具有擇優(yōu)取向的Ga2O3和SnO2混相膜的制備方法是將Ga2O3粉末和SnO2粉末與碳粉末按比例混合并研磨,獲得固體混合粉末,并以此為反應(yīng)源,將基片和反應(yīng)源置于高溫管式爐中,利用化學(xué)氣相沉積法,通過(guò)熱碳還原Ga2O3和SnO2提供Ga源和Sn源,以氧氣為氧源,惰性氣體為載氣,在一定的反應(yīng)源溫度、基片溫度、生長(zhǎng)壓力、沉積時(shí)間、載氣和氧氣比例下,在基片上獲得具有擇優(yōu)取向的Ga2O3和SnO2混相膜,本方法實(shí)現(xiàn)了Ga2O3和SnO2均具有單一的擇優(yōu)取向,而且">
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> 具有擇優(yōu)取向的Ga2O3和SnO2混相膜的制備方法