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金剛石簡(jiǎn)諧振子的制備方法

1111   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:30:16
本發(fā)明公開了一種金剛石簡(jiǎn)諧振子制備的工藝方法,通過離子注入法將高能粒子注入高溫高壓(HTHP)單晶金剛石(SCD)襯底形成類石墨的損傷層;在HTHP?SCD襯底上外延生長(zhǎng)SCD層,同時(shí)類石墨的損傷層轉(zhuǎn)變成石墨改性層;高溫高真空退火處理外延生長(zhǎng)SCD層和石墨改性層以減少缺陷;光刻工藝在外延SCD層表面制作相應(yīng)的圖形并制備金屬掩模版;干法刻蝕工藝和濕法刻蝕工藝相結(jié)合刻蝕掉金屬掩模版和石墨改性層,形成鏤空結(jié)構(gòu),從而得到金剛石簡(jiǎn)諧振子。本發(fā)明制備的金剛石簡(jiǎn)諧振子具有非常優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復(fù)性,可廣泛應(yīng)用于量子器件、化學(xué)傳感、生物傳感、溫度探測(cè)、質(zhì)量探測(cè)和磁探測(cè)等領(lǐng)域。
聲明:
“金剛石簡(jiǎn)諧振子的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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