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用于MOCVD系統(tǒng)中控制外延片溫度及均勻性的裝置與方法

1063   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 08:28:33
一種用于MOCVD系統(tǒng)中控制外延片溫度及均勻性的裝置,托盤上方沿徑向設置一組非接觸、發(fā)光補償?shù)墓鈱W溫度計,反饋托盤上多個環(huán)狀區(qū)域內單個或多個外延片的溫度。溫度控制器以外延片溫度的統(tǒng)計平均值與外延工藝規(guī)定溫度的差異最小為目標,獨立控制托盤下方的若干加熱元件的功率輸出。每個環(huán)狀區(qū)域內的多個外延片,由下方一個或相鄰多個環(huán)狀排列、徑向覆蓋面積較小的加熱元件來對應加熱,在不同溫度的工藝條件下,能有效平衡外延片及托盤在徑向的熱量流失,實現(xiàn)對單個外延片和相鄰外延片之間溫度及均勻性的精確與穩(wěn)定的控制。本發(fā)明還通過設置接觸式熱電耦溫度計來測量加熱器溫度,作為外延工藝規(guī)定溫度的參照點,同時監(jiān)測加熱器是否正常工作。
聲明：
“用于MOCVD系統(tǒng)中控制外延片溫度及均勻性的裝置與方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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