本發(fā)明公開了一種多層分級(jí)納米結(jié)構(gòu)有序孔薄膜型氣敏傳感器及其制備方法。傳感器為襯底、電極及覆于其上的由兩層以上的、呈緊密的六方排列并相互連通的球形孔狀的半導(dǎo)體氧化物構(gòu)成的厚度為200NM~10ΜM的氣敏薄膜,球形孔的孔徑為100~5000NM,其于層間為大小相間結(jié)構(gòu),層間的孔徑大小比為1.5~10∶1;方法為(A)先將不同球徑的單層膠體晶體模板浸入濃度為0.05~0.2M的半導(dǎo)體氧化物前驅(qū)體溶液中,待其脫離基底漂浮在前驅(qū)體溶液的表面,用所需形狀的帶有電極的襯底分次撈起單層膠體晶體中之一,并置于80~120℃下加熱1~4H;(B)將其置于350~550℃下退火1~4H,制得多層分級(jí)納米結(jié)構(gòu)有序孔薄膜型氣敏傳感器。它可廣泛地用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、化學(xué)工業(yè)等眾多領(lǐng)域。
聲明:
“多層分級(jí)納米結(jié)構(gòu)有序孔薄膜型氣敏傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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