本發(fā)明公開了一種提高二氧化鈦光激發(fā)氣敏性能的方法及裝置，該方法是在光氣敏傳感器工作過程中，通過對(duì)材料薄膜進(jìn)行加熱調(diào)控（50℃-70℃），使氣敏材料表面物理吸附水減少，從而對(duì)環(huán)境濕度不敏感；其次，表面保留的化學(xué)吸附水在紫外光照下產(chǎn)生的自由羥基，以及由低溫加熱下產(chǎn)生少量熱激發(fā)誘導(dǎo)的光、熱聯(lián)合激發(fā)的協(xié)同效應(yīng)，可大幅度提高其響應(yīng)恢復(fù)速度。裝置包括材料基片、光激發(fā)源、光激發(fā)控制模塊、溫度控制模塊、信號(hào)調(diào)理模塊、計(jì)算機(jī)、殼體和電路支撐板；材料基片上設(shè)置有二氧化鈦材料薄膜、加熱電阻和測溫電阻。本發(fā)明解決了二氧化鈦光激發(fā)氣敏商用化所面臨的兩大難題，使其對(duì)環(huán)境濕度不敏感，并具有較高的響應(yīng)恢復(fù)速度?？梢姡鼘?duì)推進(jìn)光激發(fā)氣敏的商用化有重要意義。