本發(fā)明公開了一種制絨/刻蝕廢液的循環(huán)利用方法,含以下步驟:(1)測(cè)試制絨/刻蝕廢液中H2SiF6的濃度,根據(jù)計(jì)量比加入化學(xué)試劑與H2SiF6反應(yīng)生成氟硅酸鹽沉淀,過濾回收氟硅酸鹽沉淀;(2)取濾液測(cè)試其中亞硝酸和/或氮氧化物的濃度,加入氧化劑將亞硝酸和/或氮氧化物轉(zhuǎn)化為硝酸;(3)測(cè)試制絨/刻蝕廢液中各組分的濃度,根據(jù)晶體硅制絨/刻蝕所需的化學(xué)配比,補(bǔ)充加入各組分,使制絨/刻蝕溶液能夠重復(fù)利用。該方法能夠?qū)⒅平q/刻蝕廢液重新回收利用,大大降低了氟排放以及氮氧化物排放,具有巨大的經(jīng)濟(jì)性和環(huán)保性,具有較大的推廣應(yīng)用價(jià)值。
聲明:
“制絨/刻蝕溶液的循環(huán)利用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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