亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 化學分析技術

> 平坦化基底的方法

平坦化基底的方法

903   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 08:14:38
本發(fā)明的實施例改進基底的平坦度,其中基底的平坦度對于圖案化和良率的提升相當?shù)闹匾?。在達到最終厚度或研磨所有的薄膜之前,使用化學機械研磨法平坦化基底。之后測量基底的輪廓和薄膜厚度,氣體團簇離子束(gas?cluster?ion?beam,GCIB)蝕刻裝置使用測量到的基底輪廓和薄膜厚度數(shù)據(jù),決定在特定的位置要移除多少薄膜。氣體團簇離子束蝕刻移除最終的層,使其符合基底均勻度和厚度目標的需求。此機制改進平坦度,以符合先進技術的需求。
聲明:
“平坦化基底的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
化學分析
全國熱門有色金屬技術推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記