亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 鋨膜電阻線原子氧傳感器芯片的制造方法

鋨膜電阻線原子氧傳感器芯片的制造方法

821   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:13:37
鋨膜電阻線原子氧傳感器芯片的制造方法,它涉及鋨膜電阻線構(gòu)成的電阻型原子氧傳感器芯片的制造方法。本發(fā)明解決了現(xiàn)有工藝制備鋨膜存在容易開裂、原子氧測量的準(zhǔn)確性差的問題。本發(fā)明方法如下:一、用物理氣相沉積法在基片上依次沉積鉻膜和金膜;二、然后在金膜表面上電鍍鋨膜;三、在鋨膜表面形成線形的光刻膠圖案;四、然后用電化學(xué)陽極溶解法刻蝕鋨膜;五、再用濕化學(xué)法刻蝕金膜,經(jīng)去膠后即在基片表面形成鋨膜電阻線。本發(fā)明制得芯片的鋨膜電阻線表面光滑平整,無微裂紋和針孔,線寬小,厚度大,因此該原子氧傳感器芯片的初始電阻較高,測量精度良好,原子氧反應(yīng)率線性度高,可連續(xù)在線長期穩(wěn)定工作。本發(fā)明的方法工藝簡單、操作方便。
聲明:
“鋨膜電阻線原子氧傳感器芯片的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記