本發(fā)明實(shí)施例提供了一種數(shù)據(jù)處理方法，利用采用紅外透射方式進(jìn)行采樣的第一測(cè)試方法測(cè)量多個(gè)薄膜樣本的紅外吸收光譜，得到所述薄膜樣本中第一化學(xué)鍵對(duì)應(yīng)的第一數(shù)據(jù)集；其中，基于所述第一數(shù)據(jù)集中的數(shù)據(jù)，利用第一計(jì)量公式，能夠得到薄膜樣本中所述第一化學(xué)鍵的含量；利用采用紅外多次衰減全反射方式進(jìn)行采樣的第二測(cè)試方法測(cè)量所述多個(gè)薄膜樣本的紅外吸收光譜，得到所述第一化學(xué)鍵對(duì)應(yīng)的第二數(shù)據(jù)集；確定所述第一數(shù)據(jù)集中的數(shù)據(jù)和所述第二數(shù)據(jù)集中的數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián)度；基于所述關(guān)聯(lián)度和所述第一計(jì)量公式，得到第二計(jì)量公式；其中，基于所述第二數(shù)據(jù)集中的數(shù)據(jù)，并結(jié)合所述第二計(jì)量公式，能夠得到所述薄膜樣本中所述第一化學(xué)鍵的含量。