本實(shí)用新型提供了一種具關(guān)閉不嚴(yán)提示功能的換向裝置。現(xiàn)有技術(shù)中反應(yīng)氣體進(jìn)/出氣管道上僅設(shè)置有一換向閥以控制反應(yīng)氣體進(jìn)/出反應(yīng)腔,當(dāng)換向閥關(guān)閉不嚴(yán)時(shí)會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量且造成嚴(yán)重?fù)p失。本實(shí)用新型的具關(guān)閉不嚴(yán)提示功能的換向裝置,設(shè)置在具有反應(yīng)腔的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的反應(yīng)氣體進(jìn)/出氣管道上,其包括一連接在進(jìn)/出氣管道上且用于控制反應(yīng)氣體進(jìn)/出反應(yīng)腔的換向閥、一串聯(lián)連接在換向閥上的一氣壓表、一用于依據(jù)氣壓表的示值及換向閥的狀態(tài)判斷換向閥是否關(guān)閉不嚴(yán)的判斷模塊和一用于在判斷模塊判斷出換向閥關(guān)閉不嚴(yán)時(shí)啟動(dòng)以提示使用者的提示模塊。本實(shí)用新型可實(shí)時(shí)檢測(cè)出換向閥的關(guān)閉不嚴(yán)并發(fā)出提示,避免了因此所造成的損失。