本發(fā)明涉及一種基于銀納米顆粒改性碳化鈦的場(chǎng)效應(yīng)晶體管氣體傳感器及其制備方法與應(yīng)用,場(chǎng)效應(yīng)晶體管氣體傳感器包括由下至上依次設(shè)置的硅柵極、二氧化硅層、叉指電極區(qū),以及銀納米顆粒改性碳化鈦層;其中叉指電極區(qū)包括以叉指形式分布的源極和/或漏極,相鄰的源極與漏極之間通過(guò)銀納米顆粒改性碳化鈦層電性連接;制備方法包括將銀納米顆粒改性碳化鈦水相分散液滴涂于叉指電極區(qū)上,干燥后即得到場(chǎng)效應(yīng)晶體管氣體傳感器。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明利用碳化鈦表面負(fù)載的銀納米顆粒與硫化氫間的強(qiáng)化學(xué)作用實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)氣體的快速高效檢測(cè),具有溝制備工藝簡(jiǎn)單、響應(yīng)靈敏、運(yùn)行成本低等優(yōu)點(diǎn),對(duì)場(chǎng)效應(yīng)晶體管在氣體傳感器領(lǐng)域的推廣具有重要意義。
聲明:
“基于銀納米顆粒改性碳化鈦的場(chǎng)效應(yīng)晶體管氣體傳感器及其制備方法與應(yīng)用” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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