本發(fā)明提供了一種高精度叉指電極、其制備方法和應(yīng)用。本發(fā)明采用半導(dǎo)體薄膜工藝,采用磁控濺射方式在絕緣基體上加工金屬薄膜,光刻叉指電極線路圖案,顯影曝光形成圖形線路,蝕刻底層形成電極線路;去膠膜后即得所述高精度叉指電極。高精度叉指電極線寬線距為1~40μm,擁有導(dǎo)電內(nèi)層和反應(yīng)層,可用于生物分子檢測(cè),具體可用于制備
電化學(xué)免疫傳感器。
聲明:
“高精度叉指電極、其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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