本發(fā)明公開了一種場效應管氫氣傳感器及其制備方法,屬于氣體傳感器領域。主要特點是將氫氣敏感薄膜與場效應晶體管進行集成,利用場效應管將氫氣敏感薄膜與氫氣作用發(fā)生的物理化學變化轉(zhuǎn)化為電信號,放大實現(xiàn)對低濃度氫氣的檢測。本發(fā)明的氫氣傳感器具有功耗低、靈敏度高和易于集成的特點。
聲明:
“場效應管氫氣傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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