本發(fā)明為了解決某些生物化學(xué)物質(zhì)的探測(cè)問題,一種嵌有FP腔的MZ干涉式光學(xué)生化傳感
芯片,主要包括MZ干涉單元,所述MZ干涉單元包括兩段光波導(dǎo),在其中一段光波導(dǎo)上包含有光柵FP腔,所述MZ干涉單元與光柵FP腔具有不相同的自由光譜范圍,二者光學(xué)耦合連接。本發(fā)明的嵌有FP腔的MZ干涉式光學(xué)生化傳感芯片通過在頂部的單晶硅層形成兩個(gè)自由光譜范圍不同,且以光柵FP光學(xué)諧振腔(光柵FP腔)嵌入在MZ干涉結(jié)構(gòu)(MZ干涉單元)的一個(gè)臂(其中一段波導(dǎo))中相連接的方式形成干涉式光學(xué)諧振腔,用于檢測(cè)外界物質(zhì)對(duì)光信號(hào)的影響。與其他的生化傳感芯片相比,具有制作工藝標(biāo)準(zhǔn)化、便于集成化、傳感性能優(yōu)良等一系列特點(diǎn)。
聲明:
“嵌有FP腔的MZ干涉式光學(xué)生化傳感芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)