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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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華東	上海上海保稅區(qū)江蘇南京無錫徐州常州蘇州南通連云港淮安鹽城揚州鎮(zhèn)江泰州宿遷南京港宜興浙江杭州寧波溫州紹興湖州嘉興金華衢州臺州麗水舟山安徽合肥蕪湖蚌埠淮南馬鞍山淮北銅陵安慶黃山阜陽宿州滁州六安宣城池州亳州福建福州廈門漳州泉州三明莆田南平龍巖寧德江西南昌九江上饒撫州宜春吉安贛州景德鎮(zhèn)萍鄉(xiāng)新余鷹潭山東濟南青島淄博棗莊東營煙臺濰坊濟寧泰安威海日照濱州德州聊城臨沂菏澤萊州港龍口港黃島前灣港董家口港日照港青島港威海港煙臺港鄒平萊蕪
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智能可定制濕法處理系統(tǒng)

911 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:55:20

公開了用于進行一致的濕法處理的濕法處理系統(tǒng)和方法的實施例。本公開內(nèi)容中描述的方法包括使用多個檢測器測量晶圓的一個或多個晶圓特性，并基于測量的一個或多個晶圓特性確定晶圓的晶圓輪廓。該方法還包括基于晶圓輪廓為相應的第一晶圓區(qū)域和第二晶圓區(qū)域設置濕法處理系統(tǒng)的第一濕法處理參數(shù)集合和第二濕法處理參數(shù)集合，其中，至少一個濕法處理參數(shù)的值在第一濕法處理參數(shù)集合和第二濕法處理參數(shù)集合之間不同。該方法還包括通過根據(jù)相應的第一濕法處理參數(shù)集合和第二濕法處理參數(shù)集合將一種或多種化學物質(zhì)分配到第一晶圓區(qū)域和第二晶圓區(qū)域上來對晶圓執(zhí)行濕法處理。

聲明：

“智能可定制濕法處理系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)