本實(shí)用新型涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，提供一種電子級(jí)超純氨水的制備裝置，包括包括洗滌裝置與吸收裝置，其中洗滌裝置包括高純氨氣進(jìn)氣管、第二超純水進(jìn)水管、洗滌塔，吸收裝置包括超純氨氣進(jìn)氣管、超純水進(jìn)水管、吸收塔、出料管；吸收塔為逆流操作的填料塔，吸收底部連接有一循環(huán)管且循環(huán)管的另一端與吸收塔的側(cè)壁相連，循環(huán)管從下端到上端依次設(shè)有隔膜泵、過(guò)濾單元、檢測(cè)單元，檢測(cè)單元與循環(huán)管上端之間的循環(huán)管上連接有出料管。該裝置經(jīng)過(guò)洗滌、吸收制得電子級(jí)超純氨水，吸收裝置部分循環(huán)充分，循環(huán)效率高，成本低；且料液在循環(huán)時(shí)還通過(guò)設(shè)在循環(huán)管上的過(guò)濾單元，可以去除在洗滌與吸收過(guò)程中可能引入的雜質(zhì)，提高了終產(chǎn)品的純度。