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超高純氣體純化裝置及純化方法

1079 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:54:10

本發(fā)明涉及一種超高純氣體純化裝置及純化方法，屬于氣體純化技術領域。該裝置包括加熱器、催化氧化器、水冷卻器、第一高效脫氧器、第二高效脫氧器和分子篩吸附器等結構，原料氣首先進入加熱器加熱，然后進入催化氧化器中催化氧化，之后經催化氧化的氣體進入水冷卻器中與冷卻水進行熱交換，接著進入第一高效脫氧器或第二高效脫氧器脫除氧氣，然后進入分子篩吸附器中吸附，最后進行檢測，如果檢測合格，則得到超高純氣體，本發(fā)明結合催化氧化、化學反應、物理吸附三種原理，深度純化原料氣體，除去普通氣體中的C5以上烴類組分，達到超高純級別，滿足特殊儀器的用途，實現(xiàn)了超高純氣體的批量化生產，提升凈化效率，增加超高純氣體的產量。

聲明：

“超高純氣體純化裝置及純化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)