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制造系統(tǒng)

781   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:41:38
本發(fā)明提供一種制造系統(tǒng),包括研磨機(jī)臺、檢測機(jī)臺及控制裝置。該研磨機(jī)臺是通過機(jī)械方式移除一基材上的導(dǎo)電物質(zhì)。該檢測機(jī)臺是通過非破壞性測試方法,測量該導(dǎo)電物質(zhì)中引起的電磁信號。該控制裝置是與該研磨機(jī)臺及該檢測機(jī)臺耦接,用以在研磨制程進(jìn)行中,依據(jù)測量得到的該電磁信號,決定該導(dǎo)電物質(zhì)的殘余厚度及移除率,并據(jù)以調(diào)整該研磨機(jī)臺的第一制程參數(shù)。使用本發(fā)明提供的制造系統(tǒng),可使后一研磨制程的研磨量依據(jù)前一研磨制程的結(jié)果來進(jìn)行調(diào)整,從而提高化學(xué)機(jī)械研磨的平坦化效果。
聲明:
“制造系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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