本實(shí)用新型涉及一種廢氣處理裝置,特別是涉及一種對(duì)EPI、PLOY或PECVD化學(xué)氣相沉積工藝尾氣進(jìn)行凈化處理的外延爐尾氣凈化器。它具有PID控制器(35)、實(shí)時(shí)檢測(cè)外延爐尾氣凈化器的進(jìn)氣口(8)的負(fù)壓情況的負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)和控制循環(huán)泵組(21)的電機(jī)的轉(zhuǎn)速的變頻器(36),負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)安裝在進(jìn)氣口(8)處,負(fù)壓檢測(cè)裝置(34)接PID控制器(35)的輸入端,變頻器(36)接PID控制器(35)的輸出端。本實(shí)用新型的外延爐尾氣凈化器能實(shí)時(shí)檢測(cè)外延爐的尾氣排放量,根據(jù)外延爐尾氣排放量控制電機(jī)轉(zhuǎn)速,在尾氣排放比較少的情況下,控制電機(jī)低速運(yùn)轉(zhuǎn),達(dá)到節(jié)能的效果。
聲明:
“外延爐尾氣凈化器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)