本發(fā)明屬于柔性應變傳感器制作領域,柔性應變傳感器需具備良好的延展性、高的靈敏度、寬檢測范圍,現(xiàn)有的高靈敏的柔性應變傳感器存在檢測范圍低,制作方法復雜等問題;而具有較大的檢測范圍的應變傳感器存在靈敏度低,檢測下限高等問題,本發(fā)明提供一種高靈敏度柔性應變傳感器的制作方法,通過等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng),利用三維化二維材料力學性能和網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),使網(wǎng)狀基底上的三維化二維材料為基礎制作的傳感材料在受到應力而導致應變時產(chǎn)生應變集中效果,產(chǎn)生敏感的拉力響應,實現(xiàn)對傳感材料的微小應變的檢測,提升了應變傳感材料的靈敏度和力學性能,實現(xiàn)更大范圍的應變響應。
聲明:
“高靈敏度柔性應變傳感器的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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