本發(fā)明公開了一種基于鈀銅納米線薄膜的聲表面波氫氣檢測傳感器,包括:差分式振蕩電路板,基于差分式振蕩電路板設(shè)置有氣室,聲表面波參考延遲線器件和聲表面波檢測延遲線器件平行且同向設(shè)置于氣室中,氣室和氣泵通過氣管連接;聲表面波檢測延遲線器件上涂覆有鈀銅納米線薄膜。與現(xiàn)有的聲表面波氫氣傳感器相比,本發(fā)明通過采用將濕化學(xué)法合成的鈀銅納米線材料作為敏感膜,并采用滴涂的方式將鈀銅納米線薄膜鍍于聲表面波延遲線器件上,提高了聲表面波氫氣傳感器檢測結(jié)果的穩(wěn)定性、重復(fù)性、檢測速度和檢測范圍。
聲明:
“基于鈀銅納米線薄膜的聲表面波氫氣傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)